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第90章 这就是自动化规范化的魔力求全订（第1页）

DUV光刻机技术难点还是不少的。

像是镜头制造方面，它要求的是极高的光学精度，镜头设计和制造过程中是绝不允许有任何微小的误差的。

此外就是光源和光路系统也是一个大难点。

DUV光刻机采用的是准分子激光作为光源，这个光源系统还是比较容易搞定的。

但光路系统的设置要求十分的精细，它要设置很复杂的折射光路，来达到让光线纯化的目的，为了提高分辨率，后来还要采用水浸法，即在投射透镜和晶圆之间填入去离子水，这就对系统的稳定性和精度有了非常高的要求。

为了造出合格的DUV光刻机，张红卫在次元训练空间的实验室里做了大量的实验，最终这才搞定了光源系统和光路系统。

不过，现在，还有一个难题需要解决，那就是：想要在现实中造出高精密度的DUV光刻机，还需要有优质的先进制程的处理器芯片和传感器。

这就意味着，张红卫要造出纳米级的单片机处理器，还要编写一个单片机操作系统。

这同样也是一个大难题。

在不断的学习和实践中，张红卫现在的编程技术自然是没有太大的问题的。

如今，最难的就是造出先进制程的纳米级芯片。

不过，张红卫还有一次把次元空间训练场里实验室的成果带回现实世界的机会。

他决定充分利用这一次的机会。

张红卫就在次元训练空间的实验室里先自己操作生产出来一些单片机和传感器。

这些单片机和传感器足以生产两三台的DUV光刻机。

他将它们小心翼翼地装进一个盒子里，然后随身携带，回到现实。

他成功了。

这些先进制程的单片机和传感器被他带到了现实中来。

张红卫简直欣喜若狂。

芯片问题解决了，接下来，就看光源和光路系统。

这两个任务被他交给了谢延波等人去做。

有现成的研究方向和思路，在张红卫的指导下，光源问题很快就得到了解决。

紧接着就是光路系统。

因为设计的就是干式DUV，光路系统就不用考虑放置去离子水，难度也是减小了不少。

因为张红卫在次元训练空间的实验室里已经是自己实践过了，所以，他略一点拨，谢延波带着几个新人就把光路系统也给搞定了。

这让谢延波很开心。

他主攻的是理论物理。

理论物理这玩意，学习起来挺难的，但是，一味地钻研枯燥的理论，妄图发现新的物理定理啥的，在现在这个时代也是越来越难了。

谢延波觉得，还是搞应用物理比较好玩一些，而且，很有成就感。

比如，用光学物理原理搞定深紫外光源，这个成果搞定之后，光刻机的一个核心部件就成功了。

谢延波被张红卫一顿猛夸，谢延波的心里自然也美滋滋的。

谢延波加入张红卫的团队之后，他一开始还有点儿担心，担心自己帮不了什么忙，起不到什么作用。

不过，在张红卫的系统指导培训下，他进步堪称神速。

而且，谢延波也找到了自己的用武之地：其实研究光刻机，也是需要用到大量的物理应用知识的。

这让才十二三岁的谢彦波成就感满满。

谢延波心想：以后坚决不再碰理论物理！

还是走应用物理的路子比较爽一些。